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球盟会网页登录 FF-200/1300

产品特点

  • 任意角度安装，便于系统集成，紧凑型结构
  • 复合抽气结构，高前级压强下仍保持较大抽速
  • 高强度转子，适用于复杂工业过程
  • 使用方便、应用范围广、性能稳定

应用领域

科学研究 加速器 碳化硅 晶体晶振 光伏 Low-E玻璃镀膜 ITO镀膜 光学镀膜 装饰镀膜 平板显示 真空炉 电真空 新能源 新材料 真空干燥 低温制冷 电子器件
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 进气口法兰
    DN200 CF DN200 ISO-K
    排气口法兰（ISO-KF）
    DN40
  • 抽速速率（L/s）
    N2：1300 He：1000 H2：480 Ar：1250
    压缩比
    N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9
  • 极限压强（Pa）
    CF：6E-7 ISO-K：6E-6
    最大连续前级压强（Pa）
    240
  • 最大前级压强（Pa）
    N2：600
    最大气载量（sccm）
    N2：2500 He：1850 H2：1450 Ar：950
  • 额定转速（RPM）
    24000
    启动时间（min）
    ≤9
  • 冷却方式
    水冷
    冷却水流量（L/min）
    ≥1
  • 冷却水温度（℃）
    ≤25
    电源电压（V AC）
    DC24/AC220
  • 最大功率（W）
    ≤500
    配电源型号
    FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II
  • 建议前级泵（L/s）
    15
    重量（kg）
    29(LF) 31(CF)



    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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