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球盟会网页版 CXF-320/3001

产品特点

  • 节能：无摩擦，避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30％
  • 高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
  • 灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

应用领域

科学研究 加速器 光伏 Low-E玻璃镀膜 ITO镀膜 光学镀膜 装饰镀膜 平板显示 真空炉 电真空 新能源 新材料 真空干燥 低温制冷 薄膜沉积 刻蚀 离子注入 光刻 电子器件
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 抽速速率（L/s）
    N2：3000   Ar：2750   He：2300   H2：1100
    压缩比
    N2：＞1E8 Ar：＞1E8   He：＞1E4   H2：＞1E3
  • 极限压强（Pa）
    10-7（橡胶密封）
    进气口法兰
    DN320 ISO F（标配）
  • 排气口法兰
    KF40
    额定转速（rpm）
    21000
  • 启动时间（min）
    ≤12
    停机时间（min）
    ≤26
  • 安装方式
    任意角度
    冷却方式
    水冷
  • 推荐前级泵抽速（l/s）
    ≥30
    供电电源（V AC）

    220±10％，50Hz110±10％，60Hz

  • 重量（kg）（ISO F）
    76
    推荐冷却水温度（℃）
    20±5
  • 冷却水流量（L/min）
    3
    最大瞬时入口流量（sccm）
    N2：2100
  • 最大连续出口压强（Pa）
    300

    • 球盟会网页版 CXF-320/3001 型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。

    球盟会网页版 CXF-320/3001 型泵外形尺寸参数表（单位： mm ）

    型号

    球盟会网页版 CXF-320/3001

    入口法兰

    ISO F

    A

    417

    M

    52.5

    B

    328

    N

    191

    C

    288

    O

    30 °

    D

    285

    P

    189

    E

    425

    Q

    176

    F

    342

    R

    30 °

    G

    358

    S

    10

    H

    337

    T

    40

    I

    153.5

    U

    95

    J

    168.5

    V

    231

    K

    84

    W

    66

    L

    198.5


    文件名 类型 语言 日期 文件大小

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