球盟会

球盟会(中国)官方网站

真空 获得

首页 > 产品中心 > 真空获得产品 > > 磁悬浮 > 球盟会网页版 CXF-200/1401

球盟会网页版 CXF-200/1401

产品特点

  • 节能:无摩擦,避免摩擦热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
  • 高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
  • 灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求

应用领域

科学研究 加速器 碳化硅 晶体晶振 光伏 Low-E玻璃镀膜 ITO镀膜 光学镀膜 装饰镀膜 平板显示 真空炉 电真空 新能源 新材料 真空干燥 低温制冷 薄膜沉积 刻蚀 离子注入 光刻 电子器件
  • 技术指标
  • 尺寸
  • 产品特性
  • 配件
  • 下载
  • 抽速速率(L/s)
    N2:1400  Ar:1360  He:880  H2:560
    压缩比
    N2:>1E7  Ar:>1E7  He:>1E4  H2:>1E3
  • 极限压强(Pa)
    1E-6(橡胶密封)   1E-7(金属密封)
    进气口法兰
    DN200 ISO F(标配)  DN200 CF(可选)   DN200 LF(可定制)
  • 排气口法兰
    KF40
    额定转速(rpm)
    30000
  • 启动时间(min)
    ≤6
    停机时间(min)
    ≤16
  • 安装方式
    任意角度
    冷却方式
    水冷
  • 推荐前级泵抽速(l/s)
    ≥16
    推荐冷却水温度(℃)
    20±5
  • 供电电源(V AC)

    220±10%,50Hz110±10%,60Hz

    重量(kg)(ISO F)
    51
  • 冷却水流量(L/min)
    2
    最大瞬时入口流量(sccm)
    N2:1100
  • 最大连续出口压强(Pa)
    300
  • 球盟会网页版 CXF-200/1401 型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示,外形对应尺寸详细数值见表。

    球盟会网页版 CXF-200/1401 型泵外形尺寸参数表(单位: mm

    型号

    球盟会网页版 CXF-200/1401

    球盟会网页版 CXF-200/1401

    入口法兰

    ISO F

    ICF

    A

    388.5

    M

    53

    A

    426

    M

    53

    B

    299.5

    N

    172

    B

    437

    N

    172

    C

    259.5

    O

    42 °

    C

    297

    O

    42 °

    D

    250.5

    P

    160

    D

    288

    P

    160

    E

    285

    Q

    155

    E

    253

    Q

    155

    F

    241

    R

    30 °

    F

    241

    R

    30 °

    G

    278

    S

    10

    G

    278

    S

    10

    H

    278

    T

    40

    H

    278

    T

    40

    I

    139

    U

    95

    I

    139

    U

    95

    J

    139

    V

    202

    J

    139

    V

    202

    K

    101

    W

    53.5

    K

    101

    W

    53.5

    L

    192

    L

    192

    文件名 类型 语言 日期 文件大小

    相关案例