进气口法兰

DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）

DN40

测量范围（Pa）

1E-5~1E5 Pa

抽速速率（L/s）

N₂：700 He：580 H₂：260 Ar：680

压缩比

N₂：1E9 He：1E7 H₂：1E6 Ar：1E9

极限压强（Pa）

CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）

100

前级泵型号

RV6（ default ）

冷却方式

水冷、风冷

冷却水流量（L/min）

>1

冷却水温度（℃）

≤25

输入电压频率（V/Hz）

380±20/50HZ220±10/50HZ

环境温度（℃）

水冷方式 5℃-40℃ 风冷方式 5℃-32℃

安装方式

垂直

适配电源型号

FD-ⅡB（非标）/TCDP-Ⅱ（标准）

外形尺寸L*W*H（mm）（高=地面-过渡腔电离规处）

550×690×850(水冷) 550x690x915（风冷）

重量（kg）

135