进气口法兰

DN160 CF DN160 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）

DN40

测量范围（Pa）

1E-5~1E5

抽速速率（L/s）

N₂：600 He：380 H₂：240 Ar：580

压缩比

N₂：1E9 He：1E4 H₂：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）

CF:5E-5;ISO-K:5E-5

建议启动压强（Pa）

100

前级泵型号

RV6（default）

冷却方式

水冷/风冷

冷却水流量（L/min）

>1

冷却水温度（℃）

≤25

输入电压频率（V/Hz）

380±20/50HZ220±10/50HZ

环境温度（℃）

水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃

安装方式

垂直

适配电源型号

FD-ⅡB（非标）/TCDP-Ⅱ（标准）

外形尺寸L*W*H（mm）

550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口）

重量（kg）

117